數(shù)字式(shì)太陽(yáng)能級矽(guī)晶體(tǐ)少(shǎo)子壽命測(cè)試儀 型(xíng)號(hào)：DP-LT-200

1.    儀(yí)器(qì)應用範圍及(jí)說明

本設備(bèi)是按照家(jiā)標(biāo)準GB/T1553“矽單(dān)晶(jīng)少數載流子壽(shòu)命測(cè)定(dìng)的(dí)頻光電導衰(shuāi)減(jiǎn)法(fǎ)”。頻(pín)光(guāng)電導衰減法在我半導體集(jí)成電(diàn)路，晶體(tǐ)管，整流(liú)器(qì)件(jiàn)，核探器行業(yè)已運用(yòng)了三十(shí)多(duō)年(nián)，積(jī)累了豐(fēng)富的使(shǐ)用(yòng)經驗(yàn)，經過數次(cì)十多個(gè)單位(wèi)巡(xún)回測(cè)試(shì)的(dí)考驗，證明(míng)是種(zhǒng)成熟(shú)可(kě)靠的(dí)測試方法，特別適合於矽塊(kuài)，矽棒(bàng)的(dí)少(shǎo)子體(tǐ)壽(shòu)命(mìng)測量(liáng)；也(yě)可對矽片行測(cè)量，給出(chū)相(xiāng)對(duì)壽(shòu)命(mìng)值。方(fāng)法本身(shēn)對樣品表麵的(dí)要求為研磨麵(miàn)，因此(cǐ)製樣(yàng)特別(bié)簡(jiǎn)便。

數字式矽晶(jīng)體少(shǎo)子(zǐ)壽(shòu)命(mìng)測試(shì)儀(yí)有以(yǐ)下(xià)特(tè)點(diǎn)：

可(kě)測(cè)量(liáng)太(tài)陽(yáng)能級多晶矽塊(kuài)，單晶(jīng)矽(guī)棒少(shǎo)數載流子體壽(shòu)命。表麵(miàn)無(wú)需拋光(guāng)，直接對(duì)切割(gē)麵或研磨(mó)麵(miàn)行測量(liáng)，儀(yí)器可按(àn)需(xū)方提供的有(yǒu)標(biāo)稱值(zhí)的(dí)校(xiào)準樣(yàng)品調試壽命值。

1.1     可(kě)測(cè)量太陽(yáng)能(néng)級(jí)單晶(jīng)及多(duō)晶(jīng)矽(guī)片少數載流子(zǐ)的(dí)相(xiāng)對壽(shòu)命，表(biǎo)麵無需拋光，鈍化(huà)。

1.2     液晶屏(píng)上直接(jiē)顯示(shì)少(shǎo)子(zǐ)壽命值，同(tóng)時(shí)在綫顯示(shì)光電(diàn)導衰退(tuì)波形(xíng)。

1.3   配置的紅(hóng)外光源：0.904～0.905μm波長(cháng)紅外(wài)脈衝激(jī)光(guāng)器，光穿透矽晶體深(shēn)度(dù)較淺(qiǎn)≈30μm，但(dàn)光(guāng)強(qiáng)較強，有利(lì)於測(cè)量(liáng)低(dī)阻太陽(yáng)能(néng)級矽晶(jīng)體少(shǎo)數(shù)載流(liú)子(zǐ)體(tǐ)壽命，脈(mài)衝率(shuài)30W。

1.4     測量範圍寬廣(guǎng)

測(cè)試(shì)儀可直(zhí)接(jiē)測量：

a，研磨或切割(gē)麵(miàn)：電(diàn)阻(zǔ)率≥0.5Ω•cm的(dí)單(dān)晶(jīng)矽棒，定向(xiàng)結晶(jīng)多晶(jīng)矽(guī)塊少子體壽命，切割(gē)片的少(shǎo)子(zǐ)相(xiāng)對(duì)壽(shòu)命。

b，拋光麵：電阻(zǔ)率(shuài)在0.5～0.01Ω•cm範(fàn)圍(wéi)內(nèi)的矽單晶(jīng)，鍺單晶厚(hòu)度(dù)小(xiǎo)於1mm的(dí)拋光片(piàn)。

2.    設備(bèi)要(yào)求(qiú)及性能標(biāo)

2.1     少(shǎo)子壽命測試範圍：0.5μs~6000μs            

2.2     樣品的(dí)電阻(zǔ)率範(fàn)圍：ρ﹥0.1Ω·cm（非回(huí)爐料）             

2.3     測試(shì)速(sù)度(dù)：1分(fēn)鐘(zhōng)/片(piàn)                     

2.4     紅外(wài)光源波(bō)長(cháng)： 0.904～0.905μm                  

2.5     頻(pín)振蕩源：用(yòng)石英(yīng)諧(xié)振器(qì)，振(zhèn)蕩頻(pín)率：30MHZ

2.6     前(qián)置放(fàng)大(dà)器(qì)，放大(dà)倍數約(yuē)25，頻(pín)寬2HZ-2MHZ

2.7     可測單晶尺(chǐ)寸：斷(duàn)麵豎測：

直徑(jìng)25mm-150mm；厚度(dù)2mm-500mm

縱(zòng)向(xiàng)臥測：直徑5mm-20mm；長(cháng)度50mm-200mm

2.8     測(cè)量方(fāng)式：采(cǎi)用數(shù)字(zì)示波器(qì)直接(jiē)讀數方式

2.9     測試(shì)分辨率(shuài)：數字(zì)存儲示波器zui小分辨率(shuài)0.01μs

2.10  設(shè)備重量(liáng)：20 Kg

2.11  儀(yí)器電源(yuán)：電源(yuán)電(diàn)壓類型：單相210～230V,50Hz,帶電(diàn)源隔離(lí)，濾(lǜ)波(bō)，穩壓，不能與未做保護措施的(dí)大率，頻設(shè)備(bèi)共用電(diàn)源。