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當前(qián)位(wèi)置(zhì):首(shǒu)頁(yè)
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質量流(liú)量(liáng)控(kòng)製器 型號(hào);DP-D07-7B
更(gēng)新時(shí)間(jiān):2017-05-24
點(diǎn)擊(jī)次數(shù):836
質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器 型號;DP-D07-7B
DP-D07-7B型 質量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器
儀器(qì)簡(jiǎn)介:
質量流量控製器(qì)(MFC)用於對(duì)氣(qì)體(tǐ)的質量(liáng)流(liú)量行地測量和控製。廣(guǎng)泛用(yòng)於電(diàn)子藝設備(bèi),真空鍍膜, 石油(yóu)化,冶金,製藥(yào),光(guāng)纖(xiān)熔煉,分析(xī)測量儀(yí)器(qì),製氣配(pèi)氣(qì)等(děng)行(háng)業(yè)。
參數(shù):
滿量程(chéng)流(liú)量(liáng)範圍(wéi)(N2) | 5SCCM~10SLM |
控製(zhì)範(fàn)圍(wéi) | 2~100%F.S. |
閥(fá)類型(及閥初始(shǐ)狀(zhuàng)態) | 電磁調節閥(常(cháng)閉(bì)) |
準確度 | ±1.5%F.S. |
綫性(xìng) | ±0.5~1.5%F.S. |
重復(fù)度(dù) | ±0.2%F.S. |
響應時間(jiān) | ≤7sec |
作溫度範(fàn)圍 | 5~45℃ |
作壓差(chà) | 0.1~0.5MPa |
耐壓(yā) | 3MPa |
漏(lòu)氣率(shuài) | 1×10-8atm.cc/sec He |
密(mì)封材料 | 氟橡膠(或(huò)氯丁橡膠) |
電插頭(tóu)形(xíng)式 | DB15 pin(Female) |
接(jiē)頭(tóu)選(xuǎn)擇 | VCR 1/4”或(huò)φ4hose,φ6hose
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