四探針電阻(zǔ)率測(cè)試儀(yí)/四探(tàn)針電(diàn)阻率儀(yí)/方(fāng)阻測試(shì)儀(yí)/方(fāng)阻儀/四探(tàn)針電阻率(shuài)測定儀(yí)  型(xíng)號：DP-KDY-1

四探針(zhēn)電(diàn)阻率/方(fāng)阻測試儀(yí)（以(yǐ)下(xià)簡稱(chēng)電阻(zǔ)率測試儀）是(shì)用來測(cè)量半導體(tǐ)材料（主(zhǔ)要是矽(guī)單晶，鍺(zhě)單(dān)晶，矽(guī)片）電(diàn)阻(zǔ)率，以及擴(kuò)散(sàn)層(céng)，外延(yán)層(céng)，ITO導電箔(bó)膜(mó)，導電橡膠(jiāo)方(fāng)塊電(diàn)阻(zǔ)的(dí)測量儀(yí)器。它主要(yào)由電氣(qì)測(cè)量(liáng)份（簡(jiǎn)稱(chēng)：主(zhǔ)機(jī)），測(cè)試架(jià)及(jí)四探針頭組成。
本(běn)儀(yí)器的特點是主(zhǔ)機配(pèi)置雙數(shù)字表(biǎo)，在(zài)測(cè)量電(diàn)阻(zǔ)率的(dí)同(tóng)時(shí)，另(lìng)塊數(shù)字(zì)表（以分之幾(jī)的度）適時(shí)監(jiān)測(cè)程(chéng)的電(diàn)流(liú)變化，免除了(liǎo)測量電(diàn)流(liú)/測量電(diàn)阻率的(dí)轉換，更及時掌控(kòng)測量電流。主機(jī)還(huán)提供(gōng)度為0.05%的恒(héng)流(liú)源，使測量(liáng)電流度穩定。本(běn)機(jī)配有恒(héng)流源(yuán)開關(guān)，在測量(liáng)某(mǒu)些(xiē)箔層(céng)材料(liào)時(shí)，可(kě)免除探針(zhēn)尖與(yǔ)被(bèi)測(cè)材(cái)料(liào)之(zhī)間接觸火(huǒ)花的發生，地保(bǎo)護箔膜(mó)。儀器配置了本(běn)公司的產品：“小遊(yóu)移四探針頭”，探(tàn)針(zhēn)遊(yóu)移(yí)率(shuài)在(zài)0.1～0.2%。保證(zhèng)了儀器(qì)測量電(diàn)阻率(shuài)的(dí)重(zhòng)復性和準確度。本機如(rú)加配(pèi)HQ-710E數據處(chǔ)理器(qì)，測(cè)量矽片時可自動行厚度，直(zhí)徑，探針(zhēn)間距的修正(zhèng)，並計(jì)算(suàn)，打印出矽(guī)片(piàn)電阻率(shuài)，徑(jìng)向(xiàng)電阻率的(dí)zui大(dà)百分變化，平均(jūn)百分(fēn)變化(huà)，徑向電阻率不(bù)均(jūn)習庋。給測量帶(dài)來很大方(fāng)便(biàn)。
2，主機能數
（1）測量(liáng)範圍(wéi)：
可(kě)測電阻率(shuài)：0.0001～19000Ω•cm
可測(cè)方(fāng)塊(kuài)電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒(héng)流(liú)源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五(wǔ)檔(dàng)連續可調
量(liáng)程(chéng)：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各(gè)檔均(jūn)低(dī)於(yú)±0.05%
（3）直(zhí)流數字電壓表(biǎo)：
測量範圍：0～199.99mV
靈敏度(dù)：10μV
基(jī)本(běn)誤(wù)差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿(mǎn)度）
輸(shū)出電(diàn)源：≥1000ΩM
（4）供電電(diàn)源(yuán)：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用環境：
溫(wēn)度：23±2℃ 相(xiāng)對(duì)濕度(dù)：≤65%
無較(jiào)強的(dí)電(diàn)場幹擾，無強(qiáng)光(guāng)直接照射
（6）重(zhòng)量(liáng)，體積(jī)：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位(wèi)：mm 長(cháng)度×寬(kuān)度×度(dù)）

備(bèi)注：
等級測量時(shí)（測(cè)電阻(zǔ)率），度<3%
電氣測量時(shí)（測(cè)電阻），度在0.3%以內

備(bèi)注(zhù)：
儀(yí)器(qì)包(bāo)括：主機台；測試架(jià)（包(bāo)括台麵）個；四探針(zhēn)頭(tóu)1個