四(sì)探(tàn)針(zhēn)電(diàn)阻(zǔ)率測試儀/四探針(zhēn)電(diàn)阻率(shuài)儀(yí)/方阻(zǔ)測(cè)試儀(yí)/方(fāng)阻儀(yí)/四探針電(diàn)阻率(shuài)測定儀  型號(hào)：DP-KDY-1

四探針(zhēn)電阻率/方(fāng)阻測(cè)試(shì)儀（以(yǐ)下簡稱電阻(zǔ)率(shuài)測(cè)試(shì)儀(yí)）是(shì)用(yòng)來測量半導(dǎo)體材料（主要是矽(guī)單晶，鍺單晶(jīng)，矽(guī)片）電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)，以(yǐ)及(jí)擴散層(céng)，外(wài)延層，ITO導電箔(bó)膜(mó)，導(dǎo)電橡膠方塊(kuài)電(diàn)阻(zǔ)的(dí)測(cè)量(liáng)儀器(qì)。它(tā)主要由電(diàn)氣測量(liáng)份（簡稱(chēng)：主機），測(cè)試架及四探針頭(tóu)組(zǔ)成。
本(běn)儀器(qì)的(dí)特點是(shì)主(zhǔ)機(jī)配(pèi)置雙(shuāng)數字表，在(zài)測(cè)量電阻率的同(tóng)時，另塊數字表(biǎo)（以分(fēn)之幾(jī)的(dí)度）適時監(jiān)測(cè)程的電流(liú)變化，免除了測量電流/測量電阻(zǔ)率的轉換(huàn)，更(gēng)及(jí)時(shí)掌控(kòng)測量電(diàn)流。主(zhǔ)機還(huán)提供度(dù)為0.05%的(dí)恒流源，使(shǐ)測量電(diàn)流度穩(wěn)定。本機(jī)配(pèi)有(yǒu)恒流(liú)源(yuán)開(kāi)關(guān)，在(zài)測量某些箔層材(cái)料時，可免除(chú)探針尖與被(bèi)測(cè)材料之間接觸火花(huā)的發生，地(dì)保護箔膜(mó)。儀器配(pèi)置(zhì)了本公司的產品(pǐn)：“小遊移(yí)四探針頭(tóu)”，探針遊(yóu)移(yí)率在0.1～0.2%。保(bǎo)證(zhèng)了(liǎo)儀器(qì)測量電阻率的重復(fù)性(xìng)和準(zhǔn)確(què)度(dù)。本機如(rú)加(jiā)配HQ-710E數(shù)據處(chǔ)理(lǐ)器，測量(liáng)矽(guī)片時可自(zì)動行(háng)厚度(dù)，直(zhí)徑，探針間距的修(xiū)正，並計算，打(dǎ)印出矽片電阻(zǔ)率，徑向電阻(zǔ)率的(dí)zui大百分變(biàn)化，平(píng)均百(bǎi)分變化(huà)，徑(jìng)向電阻率(shuài)不均習(xí)庋。給(gěi)測(cè)量帶來很大方(fāng)便。
2，四探針電(diàn)阻率測試(shì)儀/四(sì)探針(zhēn)電(diàn)阻率(shuài)儀(yí)主機能數(shù)
（1）測量範圍：
可測電(diàn)阻(zǔ)率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊(kuài)電阻(zǔ)：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源(yuán)：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔(dàng)連續可調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度(dù)：各檔均低於±0.05%
（3）直流(liú)數字(zì)電(diàn)壓(yā)表：
測量範圍(wéi)：0～199.99mV
靈敏(mǐn)度：10μV
基本誤(wù)差：±（0.004%讀(dú)數+0.01%滿度）
輸出電(diàn)源(yuán)：≥1000ΩM
（4）供(gōng)電電(diàn)源(yuán)：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率(shuài)：12W
（5）使用(yòng)環境：
溫度：23±2℃ 相(xiāng)對濕度(dù)：≤65%
無較(jiào)強的電(diàn)場(cháng)幹(gān)擾(rǎo)，無強光(guāng)直(zhí)接照射
（6）重量(liáng)，體積(jī)：
主機(jī)重(zhòng)量(liáng)：7.5kg
體積：365×380×160（單(dān)位：mm 長度×寬度×度）

四(sì)探(tàn)針(zhēn)電(diàn)阻率(shuài)測(cè)試(shì)儀/四探(tàn)針(zhēn)電阻率(shuài)儀(yí)備注：
等(děng)級測量時（測(cè)電(diàn)阻率(shuài)），度(dù)<3%
電(diàn)氣(qì)測量時（測(cè)電阻），度在(zài)0.3%以(yǐ)內(nèi)

備注：
儀器包括：主(zhǔ)機(jī)台(tái)
；測試架（包(bāo)括(kuò)台(tái)麵）個(gè)
；四(sì)探針(zhēn)頭1個(gè)